7月1日,北方华创披露,公司两款自主研发的MOCVD外延设备顺利通过行业龙头客户验收。
据报道,此次通过验收的两款设备为Satur N800和Satur V700,并获得批量重复订单。
MOCVD(金属有机物化学气相沉积)能利用金属有机化合物作为原料,通过气相化学反应方式在衬底表面生长出高质量半导体薄膜,是制造 LED、功率器件、射频器件及光电子芯片等核心器件的必备工艺。
MOCVD设备能实现纳米级别的厚度精度控制信德,并对材料界面进行量子级别调控,对器件性能与良率起到决定性作用。
据悉,此次通过验收的Satur N800专为8英寸硅基氮化镓功率器件设计,可满足外延层高要求,已在国内多家客户稳定运行并批量出货。
另一款Satur V700具备高均匀性、大产能、低成本优势,适用于Micro LED、射频、光电子等领域,也已批量出货并获客户重复订单。
长期以来,全球高端 MOCVD 设备主要由美日等少数厂商主导,国产替代相对滞后。
业内分析认为,此次通过龙头客户验收并实现批量重复订单,意味着北方华创的 MOCVD 产品已进入规模化商用阶段,对推动国产化替代、提升本土化合物半导体产业链自主可控水平具有重要意义。
此前北方华创发布的年度报告,公司未来将继续加码化合物半导体设备、集成电路前道工艺装备、先进封装设备等领域的研发投入,并加强与国内外顶尖科研机构及行业客户的协同创新,持续提升设备性能和国产化能力。
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